???????? 超高純氣體系統(tǒng)過濾器主要是過濾系統(tǒng)內部高純氣體中含有的雜質污染物，它的原理是通過擴散和截獲機理將氣體中粒子過濾掉。如果有任何雜質在超純氣體里就會造成氣體質量下降，影響氣體的純度。

??????? 超純氣體指純度高于99.99%的氣體，是一種高純化學試劑。它主要應用在一些科學研究和尖端技術的特殊應用上，比如半導體工業(yè)中會用到氫、氮、氦、硅烷等單一超純氣體作為保護氣和載氣，也可在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。除此之外，也有不少超純混合氣體作為色譜、質譜和光譜分析中的標準氣來使用。

??????? 恒歌超高純氣體過濾器通常安裝在閥門、配件下游和進氣前的部分，供氣系統(tǒng)內部由于振動效果或者強氣流沖擊導致金屬粒子脫落，容易將粒子污染物帶入氣體中，因此需要在用超高純氣體過濾器過濾。恒歌超高純氣體過濾器能對超純氣體進行有效精密過濾，可通過多級處理滿足工況要求，產品一體化無縫結合無焊接部位，適用于高壓工況下的氣體及液體過濾。

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??????? 由于很多高壓氣體系統(tǒng)內部壓力的很高的，因此恒歌耐高壓超高純氣體過濾器采用316l不銹鋼材質，耐壓能力強，適合多種高壓工況系統(tǒng)。產品體積小，安裝方便，與大多數(shù)高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性；微納米顆粒過濾能力保持高流量效率，超小壓降。

??????? 半導體行業(yè)中幾乎各道工序都用到超純氣體，器件的質量與超純氣體的純凈度有密切關系。因此，對于超純氣體的過濾凈化是要起到重視作用的，選擇一個質量過硬的超純氣體過濾器能夠幫助有效去除脫落粒子，保護超純氣體的純度避免工程損失和損壞。www.szmcyx.com

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