高純度多孔金屬限流器_氣體高流量過濾器100%氦氣測試
RF系列多孔金屬限流器、通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合、安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負(fù)擔(dān)、避免氣體過載引發(fā)不良后果。結(jié)構(gòu)堅因、更換便捷。
產(chǎn)品特點：
1、結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)省空間
2、通過更換氣阻配件、可定制不同流量
3、流量控制可靠持久
4、可用于高流量、高溫度與高壓力環(huán)境、減少氣體流動負(fù)擔(dān)、不易堵塞、可形成層流整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、無結(jié)構(gòu)彎曲或顆粒脫落
5、使用壽命長
6、100%氨氣泄露檢測通過
技術(shù)參數(shù)
| 濾芯材質(zhì) | 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 |
| 流量范圍 | 0.1sccm~40slpm | 最大工作壓差 | 1500psig |
| 精度 | +7.5% Base | 可重復(fù)性 | 士0.1% |
| 最高使用溫度 | 460℃C | 氦氣泄漏率 | 1×10-°cc/min |
| 密封面尺寸 | 1/4″‘VCR | ? | ? |
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