高流量超純氣體擴(kuò)散器VCR316L真空3納米過(guò)濾器工藝潔凈過(guò)濾器
DF系列擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器,專(zhuān)為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過(guò)濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對(duì)工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?。可定制化設(shè)計(jì),靈活適應(yīng)各類(lèi)安裝空間。