MF系列儀器保護專用過濾器，全金屬材質(zhì)，專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計，兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝，是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下，能有效阻隔微粒侵襲，守護敏感氣體組件，延長設(shè)備壽命，預(yù)防因微粒污染導(dǎo)致的泄露風(fēng)險?？蛇x擇低壓型或高壓型，也可在現(xiàn)有配管上安裝，為精密設(shè)備提供經(jīng)濟高效的防污屏障。

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