SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量，適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級，安裝維護(hù)便捷高效。