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擴散器專用過濾器金屬墊片_半導體VCR過濾墊片_密封超純凈接頭墊片


產品詳情

MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險。可選擇低壓型或高壓型、也可在現(xiàn)有配管上安裝、為精密設備提供經濟高效的防污屏障。

 

產品特點

1、整體316L不銹鋼結構
2、可以作為表面密封的過濾器、所以不需要額外的工作(切割/焊接管道用于過濾器安裝)
3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

 

產品參數(shù)

濾芯材質?? ? 316L不銹鋼粉末燒結 殼體/墊片材質 ? 316L不銹鋼
表面處理??? 內表面??? 拋光+電解Ras0.2um 最高使用溫度??? ?400°C
外表面??? ? Ra < 1.бum??
顆粒攔截粒徑?? ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm
(參考MPPS,所有顆粒)
顆粒攔截粒徑?? 20.3um

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