BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。