PECVD系統(tǒng)的氣源幾乎都是由氣體鋼瓶供氣，這些鋼瓶被放置在有許多安全保護(hù)裝置的氣柜中，通過(guò)氣柜上的控制面板、管道輸送到PECVD的工藝腔體中。在淀積時(shí)，反應(yīng)氣體的多少會(huì)影響淀積的速率及其均勻性，恒歌PECVD氣體擴(kuò)散分布器用于PECVD系統(tǒng)中，控制均布?xì)怏w流量，去除過(guò)濾氣體流路中的雜質(zhì)。不銹鋼材質(zhì)，高強(qiáng)度高硬度，耐腐蝕，高精度，過(guò)濾效率高，可反復(fù)清洗后使用?？蓱?yīng)用于氣體pecvd系統(tǒng)、純水EDI/RO反滲系統(tǒng)、高溫?zé)煔鈴S氣體凈化系統(tǒng)、惰性氣體系統(tǒng)、醫(yī)用氣體系統(tǒng)、氣體內(nèi)能系統(tǒng)等。

不銹鋼濾芯特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，不掉渣造成原液，碎渣對(duì)機(jī)械設(shè)備造成損壞
外觀精美，通過(guò)恒歌獨(dú)特的無(wú)縫一體化燒結(jié)而成，外表進(jìn)過(guò)特殊拋光工藝使產(chǎn)品外觀光亮且無(wú)毛刺
內(nèi)部孔隙率高，孔徑分布合理且均勻可實(shí)現(xiàn)氣體液體高效過(guò)濾
機(jī)械強(qiáng)度高，剛性優(yōu)秀，塑性良好
過(guò)濾精度高（0.2~120微米）可按照設(shè)備需求定制不同精度

恒歌有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)提供技術(shù)支持，可按需定制、來(lái)圖來(lái)樣設(shè)計(jì)定制產(chǎn)品。

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